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电子产品生产需要达到什么洁净要求


电子产品生产所需的洁净要求主要取决于产品类型和生产工艺,通常需满足以下洁净度等级及配套环境控制标准:

一、洁净度等级要求

百级洁净度

每立方米空气中直径大于0.5μm的颗粒物数不超过100个,微生物粒子数不超过5个。适用于集成电路、平板显示等高精度、高可靠性要求的电子产品生产。此类产品对微粒污染极为敏感,需严格控制环境洁净度。

千级洁净度

每立方米空气中直径大于0.5μm的颗粒物数不超过1000个,微生物粒子数不超过10个。适用于传感器、小型电子元件等较高精度要求的电子产品生产。该等级可满足大部分精密电子组件的制造需求。

万级洁净度

每立方米空气中直径大于0.5μm的颗粒物数不超过10000个,微生物粒子数不超过50个。适用于电源模块、部分中大型电子元件等一般精度要求的电子产品生产。该等级可满足常规电子产品的生产环境需求。

十万级洁净度

每立方米空气中直径大于0.5μm的颗粒物数不超过100000个,微生物粒子数不超过100个。适用于部分机械零件、小型电器等对空气洁净度要求不高的电子产品生产。该等级适用于对环境洁净度要求较低的生产环节。

二、环境参数控制要求

温湿度控制

对于有特定工艺要求的洁净室,温湿度需严格按照生产工艺要求确定。例如,半导体芯片制造中相对湿度通常控制在30%至50%的范围内,允许误差在±1%以内,以防止静电积累、金属腐蚀等问题。

压差控制

与室外的静压差不应小于10Pa,不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不应小于5Pa,以防止外部污染物进入洁净区域。

噪声控制

单向流和混合流洁净室的噪声级(空态)不应大于65dB(A),非单向流洁净室的噪声级(空态)不应大于60dB(A),以确保操作人员的舒适性和设备的正常运行。

微振动控制

需满足精密设备、仪器的振动容许值要求,以避免振动对高精度生产过程的影响。

三、化学污染物控制要求

材料选择

设计和建设过程中需采用耐腐蚀材料和防腐蚀措施,避免化学污染物对产品或环境造成污染。

污染物处理

配备相应的化学污染物处理设备,确保生产过程中产生的有害气体得到有效处理,符合环保要求。

四、人员与物品管理要求

人员净化

实施严格的人员进出管理,进入洁净区前需经过风淋室等净化程序,防止人员带入污染物。

物品管理

物料储运装置的材质和清洁方式应符合生产工艺要求,进入洁净区的物品需经过清洁和消毒处理。

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